Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья в журнале по материалам конференции › Рецензирование
The possibility of the controlled removal of GaN nanowires (NWs) from an SiOx inhibitor layer of patterned SiOx/Si substrates has been demonstrated. It has been found that the wet KOH etching preserves the selectively grown GaN NWs on Si surface, whereas the GaN NWs grown on inhibitor SiOx layer are removing. The effect is described by the difference in polarity between GaN NWs grown on a Si surface and NWs grown on a SiOx inhibitor layer.
Язык оригинала | английский |
---|---|
Номер статьи | 012098 |
Журнал | Journal of Physics: Conference Series |
Том | 2103 |
Номер выпуска | 1 |
DOI | |
Состояние | Опубликовано - 14 дек 2021 |
Событие | International conference PhysicA.SPb/2021 - Санкт-Петербург, Российская Федерация Продолжительность: 18 окт 2021 → 22 окт 2021 http://physica.spb.ru/ |
ID: 96851064