Фторид алюминия является перспективным материалом для промышленного применения. Благодаря своим электрофизическим параметрам он может быть дешевым аналогом диоксида кремния, используемого в СВЧ-волноводах, а ширина запрещенной зоны позволяет использовать его в оптических приборах ультрафиолетового диапазона. В этой статье мы представляем исследование синтеза возможных микроструктур на основе фторида алюминия.