Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › тезисы › Рецензирование
543 KB, Документ PDF
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Журнал | Microelectronic Engineering |
| Номер выпуска | Special Issue |
| Состояние | Опубликовано - 2017 |
| Событие | 20th Conference on Insulating Films on Semiconductors - Potsdam, Германия Продолжительность: 27 июн 2017 → 30 июн 2017 |
ID: 94122924