ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ НРНТ И CVD АЛМАЗНЫХ ПОДЛОЖЕК ЭЛЕКТРОННОГО КАЧЕСТВА

Original language	Russian
Title of host publication	Сборник докладов конференции «Перспективные материалы и технологии» Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА
Place of Publication	Москва
Publisher	МИРЭА — Российский технологический университет
Pages	241-247
Number of pages	7
Volume	1
State	Published - 15 Apr 2023
Event	МЕЖДУНАРОДНЫЙ СИМПОЗИУМ «ПЕРСПЕКТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ТЕХНОЛОГИИ» - Минск, Belarus Duration: 21 Aug 2023 → 25 Aug 2023 https://www.mirea.ru/news/v-institute-perspektivnykh-tekhnologiy-i-industrialnogo-programmirovaniya-zavershila-rabotu-6-aya-na/

Conference	МЕЖДУНАРОДНЫЙ СИМПОЗИУМ «ПЕРСПЕКТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ТЕХНОЛОГИИ»
Abbreviated title	ПМТ-2023
Country/Territory	Belarus
City	Минск
Period	21/08/23 → 25/08/23
Internet address	https://www.mirea.ru/news/v-institute-perspektivnykh-tekhnologiy-i-industrialnogo-programmirovaniya-zavershila-rabotu-6-aya-na/

ID: 116266710