Standard

ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ НРНТ И CVD АЛМАЗНЫХ ПОДЛОЖЕК ЭЛЕКТРОННОГО КАЧЕСТВА. / Клепиков, Игорь Вячеславович; Колядин, А.В,; Алтухов, А.А.; Зяблюк, К.Н.; Большаков , А.П; Лебеденко, Александра Владимировна.

Сборник докладов конференции «Перспективные материалы и технологии» Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА. Vol. 1 Москва : МИРЭА — Российский технологический университет, 2023. p. 241-247.

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference abstracts › Research › peer-review

Harvard

Клепиков, ИВ, Колядин, АВ, Алтухов, АА, Зяблюк, КН, Большаков , АП & Лебеденко, АВ 2023, ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ НРНТ И CVD АЛМАЗНЫХ ПОДЛОЖЕК ЭЛЕКТРОННОГО КАЧЕСТВА. in Сборник докладов конференции «Перспективные материалы и технологии» Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА. vol. 1, МИРЭА — Российский технологический университет, Москва, pp. 241-247, ПЕРСПЕКТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ТЕХНОЛОГИИ (ПМТ-2023), Москва, 10/04/23.

APA

Клепиков, И. В., Колядин, А. В., Алтухов, А. А., Зяблюк, К. Н., Большаков , А. П., & Лебеденко, А. В. (2023). ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ НРНТ И CVD АЛМАЗНЫХ ПОДЛОЖЕК ЭЛЕКТРОННОГО КАЧЕСТВА. In Сборник докладов конференции «Перспективные материалы и технологии» Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА (Vol. 1, pp. 241-247). МИРЭА — Российский технологический университет.

Vancouver

Клепиков ИВ, Колядин АВ, Алтухов АА, Зяблюк КН, Большаков АП, Лебеденко АВ. ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ НРНТ И CVD АЛМАЗНЫХ ПОДЛОЖЕК ЭЛЕКТРОННОГО КАЧЕСТВА. In Сборник докладов конференции «Перспективные материалы и технологии» Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА. Vol. 1. Москва: МИРЭА — Российский технологический университет. 2023. p. 241-247

Author

Клепиков, Игорь Вячеславович ; Колядин, А.В, ; Алтухов, А.А. ; Зяблюк, К.Н. ; Большаков , А.П ; Лебеденко, Александра Владимировна. / ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ НРНТ И CVD АЛМАЗНЫХ ПОДЛОЖЕК ЭЛЕКТРОННОГО КАЧЕСТВА. Сборник докладов конференции «Перспективные материалы и технологии» Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА. Vol. 1 Москва : МИРЭА — Российский технологический университет, 2023. pp. 241-247

BibTeX

@inbook{71402aaa83584ec59629da45038e30e5,
title = "ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ НРНТ И CVD АЛМАЗНЫХ ПОДЛОЖЕК ЭЛЕКТРОННОГО КАЧЕСТВА",
author = "Клепиков, {Игорь Вячеславович} and А.В, Колядин and А.А. Алтухов and К.Н. Зяблюк and А.П Большаков and Лебеденко, {Александра Владимировна}",
year = "2023",
month = apr,
day = "15",
language = "русский",
volume = "1",
pages = "241--247",
booktitle = "Сборник докладов конференции «Перспективные материалы и технологии» Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА",
publisher = "МИРЭА — Российский технологический университет",
address = "Российская Федерация",
note = "ПЕРСПЕКТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ТЕХНОЛОГИИ (ПМТ-2023) ; Conference date: 10-04-2023 Through 15-04-2023",
url = "https://www.mirea.ru/news/v-institute-perspektivnykh-tekhnologiy-i-industrialnogo-programmirovaniya-zavershila-rabotu-6-aya-na/",

}

RIS

TY - CHAP

T1 - ОТЛИЧИТЕЛЬНЫЕ ОСОБЕННОСТИ НРНТ И CVD АЛМАЗНЫХ ПОДЛОЖЕК ЭЛЕКТРОННОГО КАЧЕСТВА

AU - Клепиков, Игорь Вячеславович

AU - Колядин, А.В,

AU - Алтухов, А.А.

AU - Зяблюк, К.Н.

AU - Большаков , А.П

AU - Лебеденко, Александра Владимировна

PY - 2023/4/15

Y1 - 2023/4/15

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?edn=iwhrlu&ysclid=lrrucv28wc30723305

M3 - тезисы в сборнике материалов конференции

VL - 1

SP - 241

EP - 247

BT - Сборник докладов конференции «Перспективные материалы и технологии» Института перспективных технологий и индустриального программирования РТУ МИРЭА

PB - МИРЭА — Российский технологический университет

CY - Москва

T2 - ПЕРСПЕКТИВНЫЕ МАТЕРИАЛЫ И ТЕХНОЛОГИИ (ПМТ-2023)

Y2 - 10 April 2023 through 15 April 2023

ER -

ID: 116266710