Search
Front page
Projects
Organizational units
Activities
Data sets
Persons
Research output
Press/Media
About
О возможности применения киноформных элементов в зеркальных проекционных системах для ВУФ-литографии
Research output
:
Contribution to journal
›
Article
›
peer-review
Overview
Cite this
Links
http://journals.ioffe.ru/jtf/2007/01/page-130.html.ru
В.Ю. Венедиктов
Проанализированы возможности технологии отражательных дифракционных (голографических) оптических элементов для ВУФ- диапазона и их применения в проекционной фотолитографии.
Original language
Russian
Pages (from-to)
130-133
Journal
ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ
Volume
77
Issue number
1
State
Published -
2007
Externally published
Yes
ID: 5325852
