Проанализированы возможности технологии отражательных дифракционных (голографических) оптических элементов для ВУФ- диапазона и их применения в проекционной фотолитографии.
Язык оригиналарусский
Страницы (с-по)130-133
ЖурналЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ
Том77
Номер выпуска1
СостояниеОпубликовано - 2007
Опубликовано для внешнего пользованияДа

ID: 5325852