Standard

О возможности применения киноформных элементов в зеркальных проекционных системах для ВУФ-литографии. / Венедиктов, В.Ю.

In: ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ, Vol. 77, No. 1, 2007, p. 130-133.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Венедиктов, ВЮ 2007, 'О возможности применения киноформных элементов в зеркальных проекционных системах для ВУФ-литографии', ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ, vol. 77, no. 1, pp. 130-133. <http://journals.ioffe.ru/jtf/2007/01/page-130.html.ru>

APA

Венедиктов, В. Ю. (2007). О возможности применения киноформных элементов в зеркальных проекционных системах для ВУФ-литографии. ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ, 77(1), 130-133. http://journals.ioffe.ru/jtf/2007/01/page-130.html.ru

Vancouver

Венедиктов ВЮ. О возможности применения киноформных элементов в зеркальных проекционных системах для ВУФ-литографии. ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 2007;77(1):130-133.

Author

Венедиктов, В.Ю. / О возможности применения киноформных элементов в зеркальных проекционных системах для ВУФ-литографии. In: ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 2007 ; Vol. 77, No. 1. pp. 130-133.

BibTeX

@article{2bb0ad2ca69b4b2d8afd440347e3e706,
title = "О возможности применения киноформных элементов в зеркальных проекционных системах для ВУФ-литографии",
abstract = "Проанализированы возможности технологии отражательных дифракционных (голографических) оптических элементов для ВУФ- диапазона и их применения в проекционной фотолитографии.",
author = "В.Ю. Венедиктов",
year = "2007",
language = "русский",
volume = "77",
pages = "130--133",
journal = "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ",
issn = "0044-4642",
publisher = "ФТИ им.Иоффе",
number = "1",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - О возможности применения киноформных элементов в зеркальных проекционных системах для ВУФ-литографии

AU - Венедиктов, В.Ю.

PY - 2007

Y1 - 2007

N2 - Проанализированы возможности технологии отражательных дифракционных (голографических) оптических элементов для ВУФ- диапазона и их применения в проекционной фотолитографии.

AB - Проанализированы возможности технологии отражательных дифракционных (голографических) оптических элементов для ВУФ- диапазона и их применения в проекционной фотолитографии.

M3 - статья

VL - 77

SP - 130

EP - 133

JO - ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ

JF - ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ

SN - 0044-4642

IS - 1

ER -

ID: 5325852