Способ осаждения коллоидных наночастиц золота на поверхность кремниевых полупроводниковых пластин. / Буравлев, Алексей Дмитриевич (Inventor); Сошников, Илья Петрович (Inventor); Цырлин, Георгий Эрнстович (Inventor); Илькив, Игорь Владимирович (Inventor).
Patent No.: RU 2693546. Dec 14, 2016.Research output: Patenting and IP registration › Patent
}
TY - PAT
T1 - Способ осаждения коллоидных наночастиц золота на поверхность кремниевых полупроводниковых пластин.
AU - Буравлев, Алексей Дмитриевич
AU - Сошников, Илья Петрович
AU - Цырлин, Георгий Эрнстович
AU - Илькив, Игорь Владимирович
PY - 2016/12/14
Y1 - 2016/12/14
N2 - Использование: для формирования массивов наночастиц золота на поверхности кремниевых пластин. Сущность изобретения заключается в том, что способ осаждения коллоидных наночастиц золота на поверхность кремниевых полупроводниковых пластин заключается в том, что наночастицы, имеющие в коллоидном растворе отрицательный заряд, могут быть нанесены на поверхность кремниевых пластин благодаря проведению процессов их предварительной ионно-плазменной обработки, вследствие которых на поверхности пластин возникает положительный заряд. Технический результат: обеспечение возможности контролируемого нанесения золотых частиц на поверхность кремниевых полупроводниковых пластин. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
AB - Использование: для формирования массивов наночастиц золота на поверхности кремниевых пластин. Сущность изобретения заключается в том, что способ осаждения коллоидных наночастиц золота на поверхность кремниевых полупроводниковых пластин заключается в том, что наночастицы, имеющие в коллоидном растворе отрицательный заряд, могут быть нанесены на поверхность кремниевых пластин благодаря проведению процессов их предварительной ионно-плазменной обработки, вследствие которых на поверхности пластин возникает положительный заряд. Технический результат: обеспечение возможности контролируемого нанесения золотых частиц на поверхность кремниевых полупроводниковых пластин. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
M3 - патент
M1 - RU 2693546
ER -
ID: 78602453