Research output

1. Построение прогнозных моделей для роста тонких пленок SiC/Si с использованием методов машинного обучения

   Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

2. Эволюция структуры при превращении Si в SiC методом самосогласованного замещения атомов

   Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

3. Рост пленок SiC, AlN и GaN на кремниевых изделиях произвольной геометрии для микроэлектромеханических применений

   Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

View all (6) »