Рост пленок SiC, AlN и GaN на кремниевых изделиях произвольной геометрии для микроэлектромеханических применений

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Original language	Russian
Pages (from-to)	3-8
Journal	Письма в ЖурналТехнической Физики
Volume	49
Issue number	11
DOIs	https://doi.org/10.21883/PJTF.2023.11.55529.19555
State	Published - 2023

ID: 105693009