• ???ru_RU???
Logo Title
Search
  • Front page
  • Data sets
  • Research output
  • Activities
  • Projects
  • Persons
  • Organizational units
  • Press/Media
  • About
Александр Викторович Бугаев
Александр Викторович Бугаев

Bugaev, Aleksandr

младший научный сотрудник

  • M3.90138.2023
  • Department of Solid State Electronics
  • Overview
  • Research output
  • Activities
1 - 3 out of 3Page size: 10
  • 10
  • 20
  • 50
  • 100
Sort by: Start date
  • Type
  • Start date
  • Title
  1. 2021
  2. Influence of annealing conditions and HfO2 impurity material on nitrogen and oxygen diffusion at the HfO2 / TiN interface

    Александр Викторович Бугаев (Speaker)

    2021

    Activity: Conference talk types › Oral presentation

  3. Влияние условий отжига и материала примеси HfO2 на процессы диффузии азота и кислорода на межфазной границе HfO2/TiN

    Александр Викторович Бугаев (Speaker)

    2021

    Activity: Conference talk types › Oral presentation

  4. Исследование физико-химических процессов на границе HfO2/TiN в зависимости от условий отжига и легирования примесями HfO2

    Александр Викторович Бугаев (Speaker)

    2021

    Activity: Conference talk types › Oral presentation

ID: 13793464

SPbU Researchers Portal
Pure is an Elsevier product
This information resource may contain archival materials mentioning individuals
or legal entities included in the register of foreign agents by the Ministry of Justice
of the Russian Federation.
Log in to Pure