Research output

  1. Формирование полярной сегнетоэлектрической фазы в пленках HfO2 в зависимости от условий отжига и химических свойств примесей

    Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

  2. Теоретическое и экспериментальное исследование межфазной границы в многослойном зеркале Mo/B4C до и после введения барьерного слоя W

    Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review

  3. Поиск оптимальной конфигурации зеркала Mo/B4C

    Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review

View all (13) »

Projects

  1. Управление составом и протяженностью межфазовых границ в многослойных рентгеновских зеркалах с целью повышения их отражательной способности: 2023 г. этап 5

    Project: Grant fulfilment › Grant stage fulfilment

  2. Физико-химический послойный анализ сегнетоэлектрических TiN/HfO2/TiN систем и изучение динамики изменения объёмных свойств активного слоя и параметров межфазных границ в процессе сегнетоэлектрического циклирования: 2023 г. этап 2

    Project: Grant fulfilment › Grant stage fulfilment

  3. Физико-химический послойный анализ сегнетоэлектрических TiN/HfO2/TiN систем и изучение динамики изменения объёмных свойств активного слоя и параметров межфазных границ в процессе сегнетоэлектрического циклирования: 2022 г. этап 1

    Project: Grant fulfilment › Grant stage fulfilment

View all () »

Activities

  1. Influence of annealing conditions and HfO2 impurity material on nitrogen and oxygen diffusion at the HfO2 / TiN interface

    Activity: Conference talk types › Oral presentation

  2. Влияние условий отжига и материала примеси HfO2 на процессы диффузии азота и кислорода на межфазной границе HfO2/TiN

    Activity: Conference talk types › Oral presentation

  3. Исследование физико-химических процессов на границе HfO2/TiN в зависимости от условий отжига и легирования примесями HfO2

    Activity: Conference talk types › Oral presentation

View all (3) »

ID: 13793464