1 - 3 из 3Размер страницы: 10
Сортировать по:: Дата начала
  1. 2021

  2. Influence of annealing conditions and HfO2 impurity material on nitrogen and oxygen diffusion at the HfO2 / TiN interface

    Александр Викторович Бугаев (Докладчик)

    2021

    Деятельность: Выступление на научной конференции › выступление с устным докладом

  3. Влияние условий отжига и материала примеси HfO2 на процессы диффузии азота и кислорода на межфазной границе HfO2/TiN

    Александр Викторович Бугаев (Докладчик)

    2021

    Деятельность: Выступление на научной конференции › выступление с устным докладом

  4. Исследование физико-химических процессов на границе HfO2/TiN в зависимости от условий отжига и легирования примесями HfO2

    Александр Викторович Бугаев (Докладчик)

    2021

    Деятельность: Выступление на научной конференции › выступление с устным докладом

ID: 13793464