Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья в журнале по материалам конференции › Рецензирование
The results of this article show the possibility of determining the qualitative composition of impurities in buffer helium in a high-volume vacuum reactor by initiating a short glow in a small (non-working) part of this volume and using the PLES method.
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Номер статьи | 012073 |
| Журнал | Journal of Physics: Conference Series |
| Том | 1328 |
| Номер выпуска | 1 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 29 окт 2019 |
| Событие | 10th Republican Scientific Technical Conference on Low-Temperature Plasma During the Deposition of Functional Coatings - Kazan, Российская Федерация Продолжительность: 5 ноя 2018 → 8 ноя 2018 |
ID: 52197044