The results are given of experimental and theoretical investigation of surface transport processes in the valence band of silicon in MIS transistor inversion channels.

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)198-202
Число страниц5
ЖурналSoviet Microelectronics (English Translation of Mikroelektronika)
Том8
Номер выпуска3
СостояниеОпубликовано - 1 янв 1979

    Предметные области Scopus

  • Электротехника и электроника

ID: 42242993