Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование
ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ОТЖИГА И ДОПИРОВАНИЯ ТРИ-/ТЕТРА-ВАЛЕНТНОЙ ПРИМЕСЬЮ HfO2 НА ФОРМИРОВАНИЕ HfXSi1-XO2 НА МЕЖФАЗНОЙ ГРАНИЦЕ SiO2/HfO2 В СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКОМ ПОЛЕВОМ ТРАНЗИСТОРЕ. / Конашук, Алексей Сергеевич; Бугаев, Александр Викторович; Филатова, Елена Олеговна.
2022. 146-147 Реферат от ХIV ВСЕРОССИЙСКАЯ ШКОЛА-КОНФЕРЕНЦИЯ МОЛОДЫХРезультаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование
}
TY - CONF
T1 - ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ОТЖИГА И ДОПИРОВАНИЯ ТРИ-/ТЕТРА-ВАЛЕНТНОЙ ПРИМЕСЬЮ HfO2 НА ФОРМИРОВАНИЕ HfXSi1-XO2 НА МЕЖФАЗНОЙ ГРАНИЦЕ SiO2/HfO2 В СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКОМ ПОЛЕВОМ ТРАНЗИСТОРЕ
AU - Конашук, Алексей Сергеевич
AU - Бугаев, Александр Викторович
AU - Филатова, Елена Олеговна
PY - 2022/12
Y1 - 2022/12
M3 - тезисы
SP - 146
EP - 147
T2 - ХIV ВСЕРОССИЙСКАЯ ШКОЛА-КОНФЕРЕНЦИЯ МОЛОДЫХ<br/>УЧЁНЫХ С МЕЖДУНАРОДНЫМ УЧАСТИЕМ<br/>«КоМУ-2022»
Y2 - 5 December 2022 through 9 December 2022
ER -
ID: 101045403