Standard

Harvard

APA

Vancouver

Author

BibTeX

@conference{65b86d6a98dd4e98bda0032c5a12bedf,
title = "ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ОТЖИГА И ДОПИРОВАНИЯ ТРИ-/ТЕТРА-ВАЛЕНТНОЙ ПРИМЕСЬЮ HfO2 НА ФОРМИРОВАНИЕ HfXSi1-XO2 НА МЕЖФАЗНОЙ ГРАНИЦЕ SiO2/HfO2 В СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКОМ ПОЛЕВОМ ТРАНЗИСТОРЕ",
author = "Конашук, {Алексей Сергеевич} and Бугаев, {Александр Викторович} and Филатова, {Елена Олеговна}",
year = "2022",
month = dec,
language = "русский",
pages = "146--147",
note = "ХIV ВСЕРОССИЙСКАЯ ШКОЛА-КОНФЕРЕНЦИЯ МОЛОДЫХ<br/>УЧЁНЫХ С МЕЖДУНАРОДНЫМ УЧАСТИЕМ<br/>«КоМУ-2022», КоМУ-2022 ; Conference date: 05-12-2022 Through 09-12-2022",

}

RIS

TY - CONF

T1 - ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ОТЖИГА И ДОПИРОВАНИЯ ТРИ-/ТЕТРА-ВАЛЕНТНОЙ ПРИМЕСЬЮ HfO2 НА ФОРМИРОВАНИЕ HfXSi1-XO2 НА МЕЖФАЗНОЙ ГРАНИЦЕ SiO2/HfO2 В СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКОМ ПОЛЕВОМ ТРАНЗИСТОРЕ

AU - Конашук, Алексей Сергеевич

AU - Бугаев, Александр Викторович

AU - Филатова, Елена Олеговна

PY - 2022/12

Y1 - 2022/12

M3 - тезисы

SP - 146

EP - 147

T2 - ХIV ВСЕРОССИЙСКАЯ ШКОЛА-КОНФЕРЕНЦИЯ МОЛОДЫХ<br/>УЧЁНЫХ С МЕЖДУНАРОДНЫМ УЧАСТИЕМ<br/>«КоМУ-2022»

Y2 - 5 December 2022 through 9 December 2022

ER -

ID: 101045403