Результаты

  1. Изменение упругих деформаций в плёнках SiC в процессе роста методом согласованного замещения атомов на подложках Si

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  2. Новый метод релаксации упругих напряжений при росте гетероэпитаксиальных пленок

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

  3. Рост пленок SiC, AlN и GaN на кремниевых изделиях произвольной геометрии для микроэлектромеханических применений

    Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданияхстатьяРецензирование

Просмотреть все (34) »

ID: 70430167