Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Электролюминесценция слоев Ta2O5, полученных методом молекулярного наслаивания. / Барабан, А.П.; Дмитриев, В.А.; Дрозд, В.Е.; Петров, Ю.В.; Прокофьев, В.А.
In: ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ, Vol. 128, No. 2, 20.01.2020, p. 224-227.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
}
TY - JOUR
T1 - Электролюминесценция слоев Ta2O5, полученных методом молекулярного наслаивания
AU - Барабан, А.П.
AU - Дмитриев, В.А.
AU - Дрозд, В.Е.
AU - Петров, Ю.В.
AU - Прокофьев, В.А.
PY - 2020/1/20
Y1 - 2020/1/20
N2 - Показана возможность использования электролюминесценции для исследования структур Si-Ta2O5 и Si-SiO2-Ta2O5 и получения информации об электронном строении слоя Ta2O5 и свойствах границы SiO2-Ta2O5. Предложена модель электронного строения слоя Ta2O5, полученного методом молекулярного наслаивания, позволяющая объяснить вид спектрального распределения люминесценции независимо от способа ее возбуждения. Показано, что формирование слоя Ta2O5 на поверхности термически окисленного кремния сопровождается трансформацией в приповерхностной области SiO2 и гашением полосы люминесценции в спектральной области 650 nm. Ключевые слова: электролюминесценция, молекулярное наслаивание, спектральное распределение, электронное строение.
AB - Показана возможность использования электролюминесценции для исследования структур Si-Ta2O5 и Si-SiO2-Ta2O5 и получения информации об электронном строении слоя Ta2O5 и свойствах границы SiO2-Ta2O5. Предложена модель электронного строения слоя Ta2O5, полученного методом молекулярного наслаивания, позволяющая объяснить вид спектрального распределения люминесценции независимо от способа ее возбуждения. Показано, что формирование слоя Ta2O5 на поверхности термически окисленного кремния сопровождается трансформацией в приповерхностной области SiO2 и гашением полосы люминесценции в спектральной области 650 nm. Ключевые слова: электролюминесценция, молекулярное наслаивание, спектральное распределение, электронное строение.
KW - electroluminescence
KW - electronic structure
KW - Molecular layer deposition
KW - spectral distribution
KW - electroluminescence
KW - electronic structure
KW - Molecular layer deposition
KW - spectral distribution
U2 - 10.21883/OS.2020.02.48964.282-19
DO - 10.21883/OS.2020.02.48964.282-19
M3 - статья
VL - 128
SP - 224
EP - 227
JO - ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ
JF - ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ
SN - 0030-4034
IS - 2
ER -
ID: 51581062