Standard

Исследование физико-химических процессов на границе HfO2/TiN в зависимости от условий отжига и легирования примесями HfO2. / Бугаев, Александр Викторович; Филатова, Елена Олеговна; Конашук, Алексей Сергеевич.

2021. 165 Abstract from Open Science, Санкт-Петербург, Russian Federation.

Research output: Contribution to conference › Abstract › peer-review

Harvard

Бугаев, АВ, Филатова, ЕО & Конашук, АС 2021, 'Исследование физико-химических процессов на границе HfO2/TiN в зависимости от условий отжига и легирования примесями HfO2', Open Science, Санкт-Петербург, Russian Federation, 17/11/21 - 19/11/21 pp. 165. <https://openscience.pnpi.nrcki.ru/wp-content/uploads/2021/12/openscience2021_abstracts_v1.pdf>

APA

Бугаев, А. В., Филатова, Е. О., & Конашук, А. С. (2021). Исследование физико-химических процессов на границе HfO2/TiN в зависимости от условий отжига и легирования примесями HfO2. 165. Abstract from Open Science, Санкт-Петербург, Russian Federation. https://openscience.pnpi.nrcki.ru/wp-content/uploads/2021/12/openscience2021_abstracts_v1.pdf

Vancouver

Бугаев АВ, Филатова ЕО, Конашук АС. Исследование физико-химических процессов на границе HfO2/TiN в зависимости от условий отжига и легирования примесями HfO2. 2021. Abstract from Open Science, Санкт-Петербург, Russian Federation.

Author

Бугаев, Александр Викторович ; Филатова, Елена Олеговна ; Конашук, Алексей Сергеевич. / Исследование физико-химических процессов на границе HfO2/TiN в зависимости от условий отжига и легирования примесями HfO2. Abstract from Open Science, Санкт-Петербург, Russian Federation.1 p.

BibTeX

@conference{15ad1d77924041c1bee1ae15892a0726,
title = "Исследование физико-химических процессов на границе HfO2/TiN в зависимости от условий отжига и легирования примесями HfO2",
author = "Бугаев, {Александр Викторович} and Филатова, {Елена Олеговна} and Конашук, {Алексей Сергеевич}",
year = "2021",
language = "русский",
pages = "165",
note = "Open Science ; Conference date: 17-11-2021 Through 19-11-2021",
url = "https://openscience.pnpi.nrcki.ru/",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Исследование физико-химических процессов на границе HfO2/TiN в зависимости от условий отжига и легирования примесями HfO2

AU - Бугаев, Александр Викторович

AU - Филатова, Елена Олеговна

AU - Конашук, Алексей Сергеевич

PY - 2021

Y1 - 2021

M3 - тезисы

SP - 165

T2 - Open Science

Y2 - 17 November 2021 through 19 November 2021

ER -

ID: 92020917