Standard

Исследование физико-химических процессов на межфазных границах системы Si/SiO2/HfO2/TiN при высокотемпературном отжиге и легировании примесями сегнетоэлектрического HfO2. / Бугаев, Александр Викторович; Конашук, Алексей Сергеевич; Филатова, Елена Олеговна.

2022. Abstract from XXIV Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых "Ломоносов 2022", Москва, Russian Federation.

Research output: Contribution to conference › Abstract

Harvard

Бугаев, АВ, Конашук, АС & Филатова, ЕО 2022, 'Исследование физико-химических процессов на межфазных границах системы Si/SiO2/HfO2/TiN при высокотемпературном отжиге и легировании примесями сегнетоэлектрического HfO2', XXIV Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых "Ломоносов 2022", Москва, Russian Federation, 11/04/22 - 22/04/22. <https://lomonosov-msu.ru/archive/Lomonosov_2022/data/section_35_25754.htm>

APA

Бугаев, А. В., Конашук, А. С., & Филатова, Е. О. (2022). Исследование физико-химических процессов на межфазных границах системы Si/SiO2/HfO2/TiN при высокотемпературном отжиге и легировании примесями сегнетоэлектрического HfO2. Abstract from XXIV Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых "Ломоносов 2022", Москва, Russian Federation. https://lomonosov-msu.ru/archive/Lomonosov_2022/data/section_35_25754.htm

Vancouver

Бугаев АВ, Конашук АС, Филатова ЕО. Исследование физико-химических процессов на межфазных границах системы Si/SiO2/HfO2/TiN при высокотемпературном отжиге и легировании примесями сегнетоэлектрического HfO2. 2022. Abstract from XXIV Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых "Ломоносов 2022", Москва, Russian Federation.

Author

Бугаев, Александр Викторович ; Конашук, Алексей Сергеевич ; Филатова, Елена Олеговна. / Исследование физико-химических процессов на межфазных границах системы Si/SiO2/HfO2/TiN при высокотемпературном отжиге и легировании примесями сегнетоэлектрического HfO2. Abstract from XXIV Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых "Ломоносов 2022", Москва, Russian Federation.

BibTeX

@conference{d3399d208eb44b33a08ade47b410f0d5,
title = "Исследование физико-химических процессов на межфазных границах системы Si/SiO2/HfO2/TiN при высокотемпературном отжиге и легировании примесями сегнетоэлектрического HfO2",
author = "Бугаев, {Александр Викторович} and Конашук, {Алексей Сергеевич} and Филатова, {Елена Олеговна}",
year = "2022",
month = may,
language = "русский",
note = "XXIV Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых {"}Ломоносов 2022{"}, Ломоносов-22 ; Conference date: 11-04-2022 Through 22-04-2022",
url = "https://lomonosov-msu.ru/rus/event/7500/, https://lomonosov-msu.ru/rus/event/7500/?ysclid=l5eb9h51ml913991617, https://lomonosov msu.ru/archive/Lomonosov_2022/data/section_3_25890.htm",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Исследование физико-химических процессов на межфазных границах системы Si/SiO2/HfO2/TiN при высокотемпературном отжиге и легировании примесями сегнетоэлектрического HfO2

AU - Бугаев, Александр Викторович

AU - Конашук, Алексей Сергеевич

AU - Филатова, Елена Олеговна

PY - 2022/5

Y1 - 2022/5

M3 - тезисы

T2 - XXIV Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых "Ломоносов 2022"

Y2 - 11 April 2022 through 22 April 2022

ER -

ID: 102223643