Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Особенности протекания химических реакций при синтезе методом ML-ALD квазиодномерных наноструктур на поверхности кремнезема. / Смирнов, В. М.; Морозов, П.Е.; Власова, М.В.; Земцова, Е.Г.; Порецкий, М.С.; Цыганенко, А.А.
In: ВЕСТНИК САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 4: ФИЗИКА, ХИМИЯ, No. 1, 2011, p. 133-135.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
}
TY - JOUR
T1 - Особенности протекания химических реакций при синтезе методом ML-ALD квазиодномерных наноструктур на поверхности кремнезема
AU - Смирнов, В. М.
AU - Морозов, П.Е.
AU - Власова, М.В.
AU - Земцова, Е.Г.
AU - Порецкий, М.С.
AU - Цыганенко, А.А.
PY - 2011
Y1 - 2011
M3 - статья
SP - 133
EP - 135
JO - ВЕСТНИК САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. ФИЗИКА И ХИМИЯ
JF - ВЕСТНИК САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. ФИЗИКА И ХИМИЯ
SN - 1024-8579
IS - 1
ER -
ID: 5148924