Особенности протекания химических реакций при синтезе методом ML-ALD квазиодномерных наноструктур на поверхности кремнезема

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Original language	Undefined
Pages (from-to)	133-135
Journal	ВЕСТНИК САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКОГО УНИВЕРСИТЕТА. СЕРИЯ 4: ФИЗИКА, ХИМИЯ
Issue number	1
State	Published - 2011

ID: 5148924