Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference abstracts › Research › peer-review
Исследование микроструктуры границ раздела в многослойных зеркалах Cr/Be и W/Be. / Плешков, Роман Сергеевич; Гарахин, Сергей Александрович; Кумар, Ниранджан; Полковников, Владимир Николаевич; Сахоненков, Сергей Сергеевич; Свечников, Михаил Владимирович; Филатова, Елена Олеговна; Чхало, Николай Иванович.
XXVI Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника". Vol. 1 Нижний Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2022. p. 582-583.Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference abstracts › Research › peer-review
}
TY - CHAP
T1 - Исследование микроструктуры границ раздела в многослойных зеркалах Cr/Be и W/Be
AU - Плешков, Роман Сергеевич
AU - Гарахин, Сергей Александрович
AU - Кумар, Ниранджан
AU - Полковников, Владимир Николаевич
AU - Сахоненков, Сергей Сергеевич
AU - Свечников, Михаил Владимирович
AU - Филатова, Елена Олеговна
AU - Чхало, Николай Иванович
PY - 2022
Y1 - 2022
N2 - В рамках данного доклада мы представляем результаты работы по изучению микроструктуры границ и слоев в W/Be и Cr/Be многослойных зеркалах для диапазонов жесткого и мягкого рентгеновского излучения. В ходе исследования применялись методы рентгеновской рефлектометрии, диффузного и комбинационного рассеяния и фотоэлектронной спектроскопии. Особое внимание уделено изучению параметров структур при малых (субнанометровых) толщинах индивидуальных пленок.
AB - В рамках данного доклада мы представляем результаты работы по изучению микроструктуры границ и слоев в W/Be и Cr/Be многослойных зеркалах для диапазонов жесткого и мягкого рентгеновского излучения. В ходе исследования применялись методы рентгеновской рефлектометрии, диффузного и комбинационного рассеяния и фотоэлектронной спектроскопии. Особое внимание уделено изучению параметров структур при малых (субнанометровых) толщинах индивидуальных пленок.
M3 - тезисы в сборнике материалов конференции
SN - 978-5-91326-720-7
VL - 1
SP - 582
EP - 583
BT - XXVI Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника"
PB - Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского
CY - Нижний Новгород
T2 - XXVI международный симпозиум "Нанофизика и Наноэлектроника"
Y2 - 14 March 2022 through 17 March 2022
ER -
ID: 98921586