В рамках данного доклада мы представляем результаты работы по изучению микроструктуры границ и слоев в W/Be и Cr/Be многослойных зеркалах для диапазонов жесткого и мягкого рентгеновского излучения. В ходе исследования применялись методы рентгеновской рефлектометрии, диффузного и комбинационного рассеяния и фотоэлектронной спектроскопии. Особое внимание уделено изучению параметров структур при малых (субнанометровых) толщинах индивидуальных пленок.
Original languageRussian
Title of host publicationXXVI Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника"
Place of PublicationНижний Новгород
PublisherИздательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского
Pages582-583
Number of pages2
Volume1
ISBN (Print)978-5-91326-720-7
StatePublished - 2022
EventXXVI международный симпозиум "Нанофизика и Наноэлектроника" - Нижний Новгород, Russian Federation
Duration: 14 Mar 2022 → 17 Mar 2022
https://nanosymp.ru/

Conference

ConferenceXXVI международный симпозиум "Нанофизика и Наноэлектроника"
Country/TerritoryRussian Federation
CityНижний Новгород
Period14/03/22 → 17/03/22
Internet address

ID: 98921586