«Программа для расчета схемы экспозиции при электронно-лучевой литографии с коррекцией эффекта близости» (Proximity) › SPbU Researchers Portal

«Программа для расчета схемы экспозиции при электронно-лучевой литографии с коррекцией эффекта близости» (Proximity)

Research output: Patenting and IP registration › Certificate of registration

Department of Photonics

Documents

ПрЭВМ_ 2023666894 14-23 Капитонов
545 KB, PDF document

Юрий Владимирович Капитонов (Inventor)

Original language	Russian
Patent number	202366894
Priority date	8/08/23
Filing date	31/07/23
State	Published - 8 Aug 2023

ID: 112542485