Standard

«Программа для расчета схемы экспозиции при электронно-лучевой литографии с коррекцией эффекта близости» (Proximity). / Капитонов, Юрий Владимирович (Inventor).

Patent No.: 202366894. Aug 08, 2023.

Research output: Patenting and IP registration › Certificate of registration

Harvard

Капитонов, ЮВ Aug. 08 2023, «Программа для расчета схемы экспозиции при электронно-лучевой литографии с коррекцией эффекта близости» (Proximity), Patent No. 202366894.

APA

Капитонов, Ю. В. (2023). «Программа для расчета схемы экспозиции при электронно-лучевой литографии с коррекцией эффекта близости» (Proximity). (Patent No. 202366894).

Vancouver

Капитонов ЮВ, inventor. «Программа для расчета схемы экспозиции при электронно-лучевой литографии с коррекцией эффекта близости» (Proximity). 202366894. 2023 Aug 8.

Author

Капитонов, Юрий Владимирович (Inventor). / «Программа для расчета схемы экспозиции при электронно-лучевой литографии с коррекцией эффекта близости» (Proximity). Patent No.: 202366894. Aug 08, 2023.

BibTeX

@misc{7cae7dbfe1cd4d4ea46af04cd790748a,
title = "«Программа для расчета схемы экспозиции при электронно-лучевой литографии с коррекцией эффекта близости» (Proximity)",
author = "Капитонов, {Юрий Владимирович}",
year = "2023",
month = aug,
day = "8",
language = "русский",
type = "Patent",
note = "202366894",

}

RIS

TY - PAT

T1 - «Программа для расчета схемы экспозиции при электронно-лучевой литографии с коррекцией эффекта близости» (Proximity)

AU - Капитонов, Юрий Владимирович

PY - 2023/8/8

Y1 - 2023/8/8

M3 - свидетельство о регистрации

M1 - 202366894

Y2 - 2023/07/31

ER -

ID: 112542485