Original languageUndefined
Title of host publicationXVIII Международная научно-техническая конференция "Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники)", XXV Международный симпозиум "Тонкие пленки в электронике", V Международная научно-техническая конференция "Наноинженерия", 6-8 сентября 2012, Москва, Сборник трудов
Pages115-119
StatePublished - 2012
Externally publishedYes

ID: 4690375