Original language | Undefined |
---|---|
Title of host publication | XVIII Международная научно-техническая конференция "Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники)", XXV Международный симпозиум "Тонкие пленки в электронике", V Международная научно-техническая конференция "Наноинженерия", 6-8 сентября 2012, Москва, Сборник трудов |
Pages | 115-119 |
State | Published - 2012 |
Externally published | Yes |
ID: 4690375