| Original language | Undefined |
|---|---|
| Title of host publication | XVIII Международная научно-техническая конференция "Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники)", XXV Международный симпозиум "Тонкие пленки в электронике", V Международная научно-техническая конференция "Наноинженерия", 6-8 сентября 2012, Москва, Сборник трудов |
| Pages | 115-119 |
| State | Published - 2012 |
| Externally published | Yes |
ID: 4690375