Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная
| Язык оригинала | не определен |
|---|---|
| Название основной публикации | XVIII Международная научно-техническая конференция "Высокие технологии в промышленности России (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники)", XXV Международный симпозиум "Тонкие пленки в электронике", V Международная научно-техническая конференция "Наноинженерия", 6-8 сентября 2012, Москва, Сборник трудов |
| Страницы | 115-119 |
| Состояние | Опубликовано - 2012 |
| Опубликовано для внешнего пользования | Да |
ID: 4690375