Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Технология молекулярного наслаивания при создании микроканальных пластин с высоким аспектным соотношением. / Яфясов, Адиль Абдул Меликович; Дрозд, Арсений Викторович; Барабан, Александр Петрович; Никифорова, Ирина Олеговна.
In: Нано- и микросистемная техника, Vol. 24, No. 5, 18.04.2022, p. 240-247.Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
}
TY - JOUR
T1 - Технология молекулярного наслаивания при создании микроканальных пластин с высоким аспектным соотношением
AU - Яфясов, Адиль Абдул Меликович
AU - Дрозд, Арсений Викторович
AU - Барабан, Александр Петрович
AU - Никифорова, Ирина Олеговна
PY - 2022/4/18
Y1 - 2022/4/18
U2 - 10.17587/nmst.24.240-247
DO - 10.17587/nmst.24.240-247
M3 - статья
VL - 24
SP - 240
EP - 247
JO - Nano - i Mikrosistemnaya Tekhnika
JF - Nano - i Mikrosistemnaya Tekhnika
SN - 1813-8586
IS - 5
ER -
ID: 104816938