Технология молекулярного наслаивания при создании микроканальных пластин с высоким аспектным соотношением

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Original language	Russian
Pages (from-to)	240-247
Number of pages	8
Journal	Нано- и микросистемная техника
Volume	24
Issue number	5
DOIs	https://doi.org/10.17587/nmst.24.240-247
State	Published - 18 Apr 2022

ID: 104816938