Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
| Язык оригинала | русский |
|---|---|
| Страницы (с-по) | 240-247 |
| Число страниц | 8 |
| Журнал | Нано- и микросистемная техника |
| Том | 24 |
| Номер выпуска | 5 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 18 апр 2022 |
ID: 104816938