Standard
Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности. / Иржевский, Кирилл Антонович; Клепиков, Игорь Вячеславович; Колядин, А.В,; Мизаил, Жильцов; Патренин, Юрий; Валерий, Шепелев; Андрей, Алтухов.
In:
ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ, Vol. 95, No. 3, 2025, p. 606-614.
Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Harvard
Иржевский, КА, Клепиков, ИВ, Колядин, АВ, Мизаил, Ж, Патренин, Ю, Валерий, Ш & Андрей, А 2025, '
Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности.',
ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ, vol. 95, no. 3, pp. 606-614.
https://doi.org/10.61011/JTF.2025.03.59868.284-24
APA
Иржевский, К. А., Клепиков, И. В., Колядин, А. В., Мизаил, Ж., Патренин, Ю., Валерий, Ш., & Андрей, А. (2025).
Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности. ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ,
95(3), 606-614.
https://doi.org/10.61011/JTF.2025.03.59868.284-24
Vancouver
Author
BibTeX
@article{01afd42700bf40da90e2aff53d042d70,
title = "Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности.",
author = "Иржевский, {Кирилл Антонович} and Клепиков, {Игорь Вячеславович} and А.В, Колядин and Жильцов Мизаил and Юрий Патренин and Шепелев Валерий and Алтухов Андрей",
year = "2025",
doi = "10.61011/JTF.2025.03.59868.284-24",
language = "русский",
volume = "95",
pages = "606--614",
journal = "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ",
issn = "0044-4642",
publisher = "ФТИ им.Иоффе",
number = "3",
}
RIS
TY - JOUR
T1 - Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности.
AU - Иржевский, Кирилл Антонович
AU - Клепиков, Игорь Вячеславович
AU - Колядин, А.В,
AU - Мизаил, Жильцов
AU - Патренин, Юрий
AU - Валерий, Шепелев
AU - Андрей, Алтухов
PY - 2025
Y1 - 2025
U2 - 10.61011/JTF.2025.03.59868.284-24
DO - 10.61011/JTF.2025.03.59868.284-24
M3 - статья
VL - 95
SP - 606
EP - 614
JO - ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ
JF - ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ
SN - 0044-4642
IS - 3
ER -
