Standard

Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности. / Иржевский, Кирилл Антонович; Клепиков, Игорь Вячеславович; Колядин, А.В,; Мизаил, Жильцов; Патренин, Юрий; Валерий, Шепелев; Андрей, Алтухов.

в: ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ, Том 95, № 3, 2025, стр. 606-614.

Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование

Harvard

Иржевский, КА, Клепиков, ИВ, Колядин, АВ, Мизаил, Ж, Патренин, Ю, Валерий, Ш & Андрей, А 2025, 'Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности.', ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ, Том. 95, № 3, стр. 606-614. https://doi.org/10.61011/JTF.2025.03.59868.284-24

APA

Иржевский, К. А., Клепиков, И. В., Колядин, А. В., Мизаил, Ж., Патренин, Ю., Валерий, Ш., & Андрей, А. (2025). Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности. ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ, 95(3), 606-614. https://doi.org/10.61011/JTF.2025.03.59868.284-24

Vancouver

Иржевский КА, Клепиков ИВ, Колядин АВ, Мизаил Ж, Патренин Ю, Валерий Ш и пр. Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности. ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 2025;95(3):606-614. https://doi.org/10.61011/JTF.2025.03.59868.284-24

Author

Иржевский, Кирилл Антонович ; Клепиков, Игорь Вячеславович ; Колядин, А.В, ; Мизаил, Жильцов ; Патренин, Юрий ; Валерий, Шепелев ; Андрей, Алтухов. / Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности. в: ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 2025 ; Том 95, № 3. стр. 606-614.

BibTeX

@article{01afd42700bf40da90e2aff53d042d70,
title = "Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности.",
author = "Иржевский, {Кирилл Антонович} and Клепиков, {Игорь Вячеславович} and А.В, Колядин and Жильцов Мизаил and Юрий Патренин and Шепелев Валерий and Алтухов Андрей",
year = "2025",
doi = "10.61011/JTF.2025.03.59868.284-24",
language = "русский",
volume = "95",
pages = "606--614",
journal = "ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ",
issn = "0044-4642",
publisher = "ФТИ им.Иоффе",
number = "3",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - Термохимическая полировка монокристаллических НРНТ алмазных подложек: анализ поверхности.

AU - Иржевский, Кирилл Антонович

AU - Клепиков, Игорь Вячеславович

AU - Колядин, А.В,

AU - Мизаил, Жильцов

AU - Патренин, Юрий

AU - Валерий, Шепелев

AU - Андрей, Алтухов

PY - 2025

Y1 - 2025

U2 - 10.61011/JTF.2025.03.59868.284-24

DO - 10.61011/JTF.2025.03.59868.284-24

M3 - статья

VL - 95

SP - 606

EP - 614

JO - ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ

JF - ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ

SN - 0044-4642

IS - 3

ER -

ID: 134648456