TY - BOOK

T1 - Материалы для микроэлектромеханических систем

AU - Лезова, Александра Андреевна

AU - Лезов, Алексей Андреевич

AU - Лезова, Ирина Евгеньевна

PY - 2025

Y1 - 2025

N2 - Настоящее пособие направлено на изучение материалов, используемых дляизготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). В пособиипредставлен обзор материалов для МЭМС, таких как, кремний, керамики,полимеры, приведены их основные свойства и характеристики Пособиепредставлено в текстовом формате и предлагаемые материалы можноиспользовать при дистанционном формате обучения. Предназначено дляобучающихся ВУЗов, начиная с первого курса, и может быть использовано каквспомогательный материал в таких дисциплинах как Микромеханическиеинерциальные чувствительные элементы, Проектирование микромеханическихинерциальных чувствительных элементов, а также для практических исеминарских занятий и в подготовке к экзаменам (в том числе ГИА).

AB - Настоящее пособие направлено на изучение материалов, используемых дляизготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). В пособиипредставлен обзор материалов для МЭМС, таких как, кремний, керамики,полимеры, приведены их основные свойства и характеристики Пособиепредставлено в текстовом формате и предлагаемые материалы можноиспользовать при дистанционном формате обучения. Предназначено дляобучающихся ВУЗов, начиная с первого курса, и может быть использовано каквспомогательный материал в таких дисциплинах как Микромеханическиеинерциальные чувствительные элементы, Проектирование микромеханическихинерциальных чувствительных элементов, а также для практических исеминарских занятий и в подготовке к экзаменам (в том числе ГИА).

M3 - учебное пособие

BT - Материалы для микроэлектромеханических систем

PB - Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения

ER -