Настоящее пособие направлено на изучение материалов, используемых для
изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС). В пособии
представлен обзор материалов для МЭМС, таких как, кремний, керамики,
полимеры, приведены их основные свойства и характеристики Пособие
представлено в текстовом формате и предлагаемые материалы можно
использовать при дистанционном формате обучения. Предназначено для
обучающихся ВУЗов, начиная с первого курса, и может быть использовано как
вспомогательный материал в таких дисциплинах как Микромеханические
инерциальные чувствительные элементы, Проектирование микромеханических
инерциальных чувствительных элементов, а также для практических и
семинарских занятий и в подготовке к экзаменам (в том числе ГИА).