Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная
| Язык оригинала | не определен |
|---|---|
| Название основной публикации | 2016 14th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition (BALD) |
| Издатель | Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. |
| Страницы | 68-70 |
| ISBN (печатное издание) | 978-1-5090-3416-1 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 2017 |
| Событие | 14th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition, BALD 2016 - St. Petersburg, Российская Федерация Продолжительность: 1 окт 2016 → 3 окт 2016 |
| конференция | 14th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition, BALD 2016 |
|---|---|
| Страна/Tерритория | Российская Федерация |
| Город | St. Petersburg |
| Период | 1/10/16 → 3/10/16 |
ID: 7656700