DOI

Scaling laws enable one to simply estimate and predict plasma characteristics based of external discharge parameters. The presence of negative ions drastically changes the transport processes that define the spatial distributions of plasma components and other properties of the plasma. Thus, the scaling laws can be derived using a global model of a plasma reactor that assumes certain spatial distributions of charged species.

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи106
Число страниц1
ЖурналIEEE International Conference on Plasma Science
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 янв 2002

    Предметные области Scopus

  • Атомная и молекулярная физика и оптика
  • Физика конденсатов
  • Электротехника и электроника

ID: 42902889