Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
A fluid model is used to simulate ICP discharges in oxygen for a wide range of conditions under which commercial plasma-chemical reactors typically operate. Simple scaling laws are constructed with which different parameters of discharge plasmas in electronegative gases can be readily estimated from the given external parameters - the specific input power W and the product pL of the gas pressure and the characteristic plasma dimension.
Язык оригинала | английский |
---|---|
Страницы (с-по) | 946-954 |
Число страниц | 9 |
Журнал | Technical Physics |
Том | 47 |
Номер выпуска | 8 |
DOI | |
Состояние | Опубликовано - 1 авг 2002 |
ID: 5123532