Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
Preparation of carbonitride films in the active and afterglow phases of a glow discharge. / Grigorian, G.M.; Kochetov, I.V.
в: Plasma Physics Reports, Том 39, № 5, 2013, стр. 412-419.Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
}
TY - JOUR
T1 - Preparation of carbonitride films in the active and afterglow phases of a glow discharge
AU - Grigorian, G.M.
AU - Kochetov, I.V.
PY - 2013
Y1 - 2013
U2 - 10.1134/S1063780X1305005X
DO - 10.1134/S1063780X1305005X
M3 - Article
VL - 39
SP - 412
EP - 419
JO - Plasma Physics Reports
JF - Plasma Physics Reports
SN - 1063-780X
IS - 5
ER -
ID: 7407506