DOI

We present the results of experiments on annealing the surface layer of porous silicon by pulsed IR laser radiation. The character of laser-induced modification has been studied using IR spectroscopy and transmission electron microscopy. It is shown that the proposed method can be used to obtain a Si:SiO2 composite.

Язык оригиналаанглийский
Страницы (с-по)1065-1068
Число страниц4
ЖурналTechnical Physics Letters
Том33
Номер выпуска12
DOI
СостояниеОпубликовано - дек 2007

    Предметные области Scopus

  • Физика и астрономия (разное)

ID: 86117772