Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья в журнале по материалам конференции › Рецензирование
The results of the study of thin nanostructured ZnO films obtained by the method of reactive ion-plasma sputtering are presented. The influence of technological factors on the structural and optical properties of films is considered.
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Номер статьи | 012025 |
| Журнал | Journal of Physics: Conference Series |
| Том | 1281 |
| Номер выпуска | 1 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 12 авг 2019 |
| Событие | 14th International Conference on Films and Coatings, ICFC 2019 - Saint Petersburg, Российская Федерация Продолжительность: 14 мая 2019 → 16 мая 2019 |
ID: 86115190