Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование
Helium ion irradiation for the fabrication of nanostructures by means of wet etching. / Petrov, Yu.V.; Grigoryev, E.A.; Sharov, T.V.; Baraban, A.P.
2019. 105-107 Реферат от ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ИОНОВ С ПОВЕРХНОСТЬЮ ВИП-2019, Москва, Российская Федерация.Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование
}
TY - CONF
T1 - Helium ion irradiation for the fabrication of nanostructures by means of wet etching.
AU - Petrov, Yu.V.
AU - Grigoryev, E.A.
AU - Sharov, T.V.
AU - Baraban, A.P.
PY - 2019
Y1 - 2019
M3 - Abstract
SP - 105
EP - 107
T2 - ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ИОНОВ С ПОВЕРХНОСТЬЮ ВИП-2019
Y2 - 19 August 2019 through 23 August 2019
ER -
ID: 78597935