Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья в журнале по материалам конференции › Рецензирование
The advantages of droplet and claster Li-contained targets for debris free EUV generation are estimated on base of analytical modeling and simulation. Conversion efficiency of laser energy into EUV energy from such targets is found to reach a few percents. The laser prepulse is proposed to enhance the laser energy conversion into emission at wavelength of 13.5 nm.
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Страницы (с-по) | 128-136 |
| Число страниц | 9 |
| Журнал | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering |
| Том | 5196 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 2004 |
| Событие | Laser-Generated and Other Laboratory X-Ray and EUV Sources, Optics, and Applications - San Diego, CA, Соединенные Штаты Америки Продолжительность: 4 авг 2003 → 6 авг 2003 |
ID: 86382080