DOI

  • Takeshi Higashiguchi
  • Chirag Rajyaguru
  • Masato Koga
  • Keita Kawasaki
  • Wataru Sasaki
  • Shoichi Kubodera
  • Takashi Kikuchi
  • Noboru Yugami
  • Shigeo Kawata
  • Alex Andreev

Extreme ultraviolet (EUV) radiation at the wavelength of around 13 nm was observed from a laser-produced plasma using continuous water-jet. Strong dependence of the conversion efficiency (CE) on the laser focal spot size and jet diameter was observed. The EUV CE at a given laser spot size and jet diameter was further enhanced using double laser pulses, where a pre-pulse was used for initial heating of the plasma.

Язык оригиналаанглийский
Номер статьи116
Страницы (с-по)613-616
Число страниц4
ЖурналProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Том5777
Номер выпускаPART II
DOI
СостояниеОпубликовано - 2005
СобытиеXV International Symposium on Gas Flow, Chemical Lasers, and High-Power Lasers, GCL/HPL 2004 - Prague, Чехия
Продолжительность: 30 авг 20043 сен 2004

    Предметные области Scopus

  • Электроника, оптика и магнитные материалы
  • Физика конденсатов
  • Прикладные компьютерные науки
  • Прикладная математика
  • Электротехника и электроника

ID: 85669962