Результаты исследований: Научные публикации в периодических изданиях › статья › Рецензирование
It is shown that the creation of fast electrons by reactions involving metastable atoms may dramatically increase the near-wall potential drop in the afterglow of an rf-driven plasma. This results in a corresponding increase in the energy of ions incident on the walls of the discharge. This effect may be important in applications such as rf plasma processing.
Язык оригинала | английский |
---|---|
Номер статьи | 4 |
Страницы (с-по) | 5350-5353 |
Число страниц | 4 |
Журнал | Physics of Plasmas |
Том | 11 |
Номер выпуска | 11 |
DOI | |
Состояние | Опубликовано - 1 ноя 2004 |
ID: 52198893