Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование
| Язык оригинала | английский |
|---|---|
| Страницы | 84 |
| Число страниц | 1 |
| Состояние | Опубликовано - сен 2021 |
| Событие | III Международный семинар «Атомно-слоевое осаждение: Россия, 2021» - Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет), Saint Petersburg, Российская Федерация Продолжительность: 27 сен 2021 → 30 сен 2021 http://technolog.edu.ru/aldrussia/ |
| конференция | III Международный семинар «Атомно-слоевое осаждение: Россия, 2021» |
|---|---|
| Сокращенное название | ALD Russia 2021 |
| Страна/Tерритория | Российская Федерация |
| Город | Saint Petersburg |
| Период | 27/09/21 → 30/09/21 |
| Сайт в сети Internet |
ID: 85939800