Недавно предложенная методика спектроскопического определения концентрации атомов бора в неравновесной плазме распространена на атомы В, Al, Ga и Si и обобщена путем учета газовой температуры и небольцмановского распределения заселенности подуровней мультиплетной структуры основного состояния атомов. Предлагаемый подход основан на измерении искаженных реабсорбци-ей отношений интенсивностей пар спектральных линий, имеющих общий верхний уровень и при-надлежащих резонансному мультиплету. Показано, что при достаточно большой оптической толщине плазмы вдоль линии наблюдения измеряемые значения отношений интенсивностей зависят от газовой температуры плазмы Т и произведения NL полной концентрации нормальных атомов N и длины плазменного столба L вдоль линии наблюдения. Таким образом, при использовании резо-нансных дублетов атомов В, Al, Ga для определения концентраций N необходимо иметь данные о Т. Структура резонансного мультиплета Si позволяет измерять три независимых отношения интенсив-ностеи. Это дает не только в