Standard

Влияние условий отжига и материала примеси HfO2 на процессы диффузии азота и кислорода на межфазной границе HfO2/TiN. / Бугаев, Александр Викторович; Филатова, Елена Олеговна; Конашук, Алексей Сергеевич.

2021. 15-16 Реферат от ХIII ШКОЛЫ-КОНФЕРЕНЦИИ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ “КоМУ-2021”, Ижевск.

Результаты исследований: Материалы конференций › тезисы › Рецензирование

Harvard

Бугаев, АВ, Филатова, ЕО & Конашук, АС 2021, 'Влияние условий отжига и материала примеси HfO2 на процессы диффузии азота и кислорода на межфазной границе HfO2/TiN', ХIII ШКОЛЫ-КОНФЕРЕНЦИИ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ “КоМУ-2021”, Ижевск, 18/11/21 - 22/11/21 стр. 15-16. <http://udman.ru/ru/scientific-activity/13-ya-shkola-komu-2021/sbornik-materialov/Sbornik_%D0%9A%D0%BE%D0%9C%D0%A3-2021.pdf>

APA

Бугаев, А. В., Филатова, Е. О., & Конашук, А. С. (2021). Влияние условий отжига и материала примеси HfO2 на процессы диффузии азота и кислорода на межфазной границе HfO2/TiN. 15-16. Реферат от ХIII ШКОЛЫ-КОНФЕРЕНЦИИ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ “КоМУ-2021”, Ижевск. http://udman.ru/ru/scientific-activity/13-ya-shkola-komu-2021/sbornik-materialov/Sbornik_%D0%9A%D0%BE%D0%9C%D0%A3-2021.pdf

Vancouver

Бугаев АВ, Филатова ЕО, Конашук АС. Влияние условий отжига и материала примеси HfO2 на процессы диффузии азота и кислорода на межфазной границе HfO2/TiN. 2021. Реферат от ХIII ШКОЛЫ-КОНФЕРЕНЦИИ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ “КоМУ-2021”, Ижевск.

Author

Бугаев, Александр Викторович ; Филатова, Елена Олеговна ; Конашук, Алексей Сергеевич. / Влияние условий отжига и материала примеси HfO2 на процессы диффузии азота и кислорода на межфазной границе HfO2/TiN. Реферат от ХIII ШКОЛЫ-КОНФЕРЕНЦИИ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ “КоМУ-2021”, Ижевск.2 стр.

BibTeX

@conference{8213e4ae86f04be0b4ed88cb8f41560b,
title = "Влияние условий отжига и материала примеси HfO2 на процессы диффузии азота и кислорода на межфазной границе HfO2/TiN",
author = "Бугаев, {Александр Викторович} and Филатова, {Елена Олеговна} and Конашук, {Алексей Сергеевич}",
year = "2021",
month = dec,
language = "русский",
pages = "15--16",
note = "ХIII ШКОЛЫ-КОНФЕРЕНЦИИ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ “КоМУ-2021” ; Conference date: 18-11-2021 Through 22-11-2021",

}

RIS

TY - CONF

T1 - Влияние условий отжига и материала примеси HfO2 на процессы диффузии азота и кислорода на межфазной границе HfO2/TiN

AU - Бугаев, Александр Викторович

AU - Филатова, Елена Олеговна

AU - Конашук, Алексей Сергеевич

PY - 2021/12

Y1 - 2021/12

M3 - тезисы

SP - 15

EP - 16

T2 - ХIII ШКОЛЫ-КОНФЕРЕНЦИИ МОЛОДЫХ УЧЕНЫХ “КоМУ-2021”

Y2 - 18 November 2021 through 22 November 2021

ER -

ID: 89759848